EBOOK

Handbook of Ellipsometry

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gebunden
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Januar 2006

Beschreibung

Beschreibung

Ellipsometry, a measurement technique based on phase and amplitude changes in polarized light, is used in various applications because of miniaturization of integrated circuits and breakthroughs in knowledge of biological macromolecules deriving from DNA research. This book covers the theory of ellipsometry, instrumentation, and applications.
EAN: 9780815514992
ISBN: 0815514999
Untertitel: Sprache: Englisch.
Verlag: WILLIAM ANDREW PUB
Erscheinungsdatum: Januar 2006
Seitenanzahl: 886 Seiten
Format: gebunden
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