EBOOK

Microstereolithography and Other Fabrication Techniques for 3D Mems


€ 294,99
 
gebunden
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März 2001

Beschreibung

Beschreibung

Eine moderne Einführung in das relativ junge Gebiet der Erzeugung winziger Strukturen, die insbesondere zur Herstellung von Mikrosensoren, Schrittmotoren und miniaturisierten Signalverarbeitungseinheiten benötigt werden. Besprochen wird eine ganze Palette von Mikrofertigungstechniken wie Laserablation und LIGA. Angesprochen werden dabei auch modernste Anwendungsgebiete wie organische Dünnschichttransistoren (TFTs), Antennen, drahtlose Telemetriesysteme und Systeme zur Signalweiterleitung.

Inhaltsverzeichnis

Preface.
Microelectromechanical Systems.
Fundamentals of Polymer Synthesis for MEMS.
Stereolithography (SL).
Microstereolithography Techniques I-Scanning Method.
Microstereolithography Techniques II-Projection Method.
Polymeric MEMS Architecture with Silicon, Metal, and Ceramics.
Combined Silicon and Polymeric Structures.
Micromolding.
Applications.
Appendix 1: Some Polymers for MEMS.
Appendix 2: An Example of CAD Model and NC Codes for Microstereolithography.
Index.

Pressestimmen

"This book gives a fascinating introduction to the subject, and places it superbly within its context....It is original, timely and well written." (Engineering Science & Education Jnl. April 2002)
EAN: 9780471521853
ISBN: 047152185X
Untertitel: New. Sprache: Englisch.
Verlag: JOHN WILEY & SONS INC
Erscheinungsdatum: März 2001
Seitenanzahl: 274 Seiten
Format: gebunden
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